سامانه پردازش گرمایی سریع
Rapid thermal processing system
آزمایشگاه خواص الکترونیکی مواد، ایران
RTP-1
میکرو و نانوالکترونیک، مهندسی مواد
انجام فرآیندهای مبتنی بر گرمایش سریع مانند (RTA) Rapid thermal annealing و (RTO) Rapid thermal oxidation
انجام فرآیند در ملاءهای مختلف شامل اکسیژن، هیدروژن، آرگون، هوا (خشک یا مرطوب) و … با نرخ گرمایش قابل تنظیم