سامانه لایهنشانی اسپری پایرولیز
Spray pyrolysis deposition system
آزمایشگاه خواص الکترونیکی مواد، ایران
USP-1
میکرو و نانوالکترونیک، مهندسی مواد
تولید لایه نازکهای اکسید قلع و اکسید روی به روش اسپری پایرولیز
لایهنشانی بر زیرپایههای مختلف با ضخامت و ریزساختار قابل تنظیم