سامانه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی
Thermal evaporation deposition system
شرکت هزاره سوم، ایران
TVS-1
میکرو و نانوالکترونیک، مهندسی مواد
تولید لایه نازک های فلزی و سیلیکونی
لایه شانی Au، Ag، Sn، Ti، Pd، Cr، Al، Cu، Ni، Fe و Si بر زیرپایه های مختلف با ضخامت قابل تنظیم