سامانه لایهنشانی به روش کندوپاش
Magnetron sputtering system
شرکت هزاره سوم، ایران
TVS-SP1
میکرو و نانوالکترونیک، مهندسی مواد
تولید لایه نازکهای فلزی و اکسید فلزی به روش کندوپاش
لایهنشانی فلزات Ti، Zn، Al، Cu، Pt و اکسیدهای فلزی، ZnO، Cu2O، CuO، SnO2، TiO2 بر زیرپایههای مختلف با ضخامت قابل تنظیم